扫描电镜 SEM

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场发射扫描电镜JSM7800F

作者:admin 时间:2017-07-26 来源:

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      新一代扫描电镜JSM-7800F配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。
 
通过超级混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察
 
    JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。
 
低加速电压下的能量选择
 
      能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像,观察样品的浅表面。
 
通过Gentle Beam (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面
 
      给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用数十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。
 
通过多个检测器获取样品的所有信息
 
      JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

应用实例
 
低加速电压下的观察

利用JSM-7800F的GB模式,到达样品的能量从10 eV开始就可以观察。下面将到达样品的能量设定为80
eV进行实例观察:

一个碳原子厚度的石墨薄片的表面
 

 
样品: 石墨烯 到达能量80eV
能量选择
   UED和USD能同时获取背散射电子像(左图)和二次电子像(右图),因此可以精确地解释图像。二次电子像主要反映形貌信息,金颗粒和TiO2的衬度没有明显不同,而背散射电子像中原子序数高的金颗粒则显得明亮。
 

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分辨率
0.8 nm(15 kV)
1.2 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)  
倍率 ×25 ~ ×1000000(SEM)
加速电压 0.01kV ~ 30kV
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自动光阑角最佳控制透镜 内置
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低位检测器(LED)
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数字图像 1280 x 960 像素 800 x 600 像素
样品交换室 由TYPE2A构成
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X-Y X:70mm Y:50mm
倾斜 -5 ~ +70°
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